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RPS遠程等離子源

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自由基等離子體源（遠程等離子體源）

產品型號：MA3000C-713BB

等離子體組件

微波功率[W]： 3000
頻率[MHz]： 2450
過程氣體： O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4和其他氟機氣體 
工藝流程： 蝕刻和沉積
輸出連接器類型：ISO-K 63
等離子體室材料： 陶瓷
電源標稱電壓[V]： 230/208
輸出連續波[W]： 3000
外部尺寸[mm]： 310,20*346,50*488,30（寬*高*深）
重量[kg]： 29

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