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RPS遠程等離子源

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自由基等離子體源(遠程等離子體源)

產品型號:MA3000C-713BB

等離子體組件

微波功率[W]: 3000
頻率[MHz]: 2450
過程氣體: O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4和其他氟機氣體 
工藝流程: 蝕刻和沉積
輸出連接器類型:ISO-K 63
等離子體室材料: 陶瓷
電源標稱電壓[V]: 230/208
輸出連續波[W]: 3000
外部尺寸[mm]: 310,20*346,50*488,30(寬*高*深)
重量[kg]: 29

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產品詳細信息

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