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MPCVD等離子陣列

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等離子體陣列-可擴展等離子體源

產品型號:MA6000A-013BB

低壓微波等離子體源
適用于清洗、蝕刻、灰化、沉積、滅菌、預處理
可擴張的緊湊式設計
集成氣體噴淋
集成微波發生器系統
高等離子體密度
高效,低傷害

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產品詳細信息

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