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SU8微波等離子去膠機

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SU-8等離子去膠機

產品型號:MA3000D-231BB

用于去除SU-8這樣的厚光組層
還可以用于各向同性材料蝕刻,例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等
不受離子腐蝕的純化學腐蝕
集成RPS源(遙控/自由基等離子源)
等離子區域水冷
基板超低熱負荷
腐蝕速率高(很大范圍內不低于200μm/h)
基板尺寸可達460mm x 460mm
不會腐蝕金屬,例如:Ni、Ni/Fe,Au;Cu等
僅會對Si或硅的混合物例如SiO2、Si3N4等造成微量傷害
高環境符合性

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產品詳細信息

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