【產品說明】等離子解封裝工具 (3 kW / 2450 MHz)|等離子解封裝工具_微波發生器_微波電源_微波源

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【產品說明】等離子解封裝工具 (3 kW / 2450 MHz)|等離子解封裝工具

發布時間：

2020-12-1

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等離子解封裝工具 (3 kW / 2450 MHz)|等離子解封裝工具

產品說明：
微波功率3kW 頻率2.45GHz
工藝臺面尺寸320X320mm，
可處理最大300mm的晶圓片
各向同性腐蝕，無離子攻擊，
解封裝速率>0.2mm/h（包括無機填充物）
對Au，，Al，Cu，Pd等金屬材料無損害
樣品區實現無離子，無電磁輻射，無電場的環境