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【產品說明】MUEGGE微波等離子去膠機 | 去膠機| 等離子去膠機

MUEGGE微波等離子去膠機 | 去膠機| 等離子去膠機
產品說明:
微波功率1.25kW/3kW 頻率2.45GHz
工藝臺面尺寸460X460mm,可同時處理9個6”片
可有效去除SU-8膠,速率:20um/min,
對于大面積樣品可達到200um/min(5×6”)
在MEMS上可以處理超過1mm厚度的SU-8膠層
各向同性刻蝕,均勻性優于5%,
無離子攻擊,工藝的溫度可達到70°C以下
對Ni,Ni/Fe,Au,Cu等金屬材料無損害

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