聯系電話:010-51652878 / 13811002878

新聞中心

當前位置: 首頁 > 新聞中心 > 公司新聞

【產品說明】微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機

微波等離子蝕刻機(3 kW / 2450 MHz)|微波等離子蝕刻機|蝕刻機

基本參數:
微波功率3kW 頻率2.45GHz
工藝臺面尺寸320X320mm,
可處理100/150/200/300mm尺寸的晶圓片
各向同性刻蝕,無離子攻擊
對于硅樣品刻蝕率可達到90μm /min
對于200mm晶圓腐蝕率為3μm/min,
300mm晶圓腐蝕率為2.5μm/min
對于典型的SiN及BPSG 蝕刻率 1 μm/min,
典型熱氧化物 250 nm/min

农村大集偷窥厕所视频在线_精品国产乱子伦一区二区三区_free性欧美hd另类_女同事的好紧水好多_久久亚洲精品成人av